Теоретические принципы работы мазера первыми описали советские ученые Николай Басов, Александр Прохоров на Всесоюзной конференции по радиоспектроскопии, проведенной АН СССР в мае 1952 года. А американский ученый Чарльз Таунс вместе с коллегами построил первый мазер, работающий на аммиаке, в Колумбийском университете в 1953 году.
В 1964 году Прохорову, Басову и Таунсу была присуждена Нобелевская премия по физике «за фундаментальные работы в области квантовой электроники, которые привели к созданию осцилляторов и усилителей, основанных на принципе лазера — мазера».